3D structure revealing of thin films by means of focal series
- Pustovalov, E.V.
- Fedorets, A.N.
- Modin, E.B.
- Tkachev, V.V.
- Plotnikov, V.S.
ISSN: 1662-9507, 1012-0386
ISBN: 9783035714777
Datum der Publikation: 2018
Ausgabe: 386 DDF
Seiten: 332-337
Art: Konferenz-Beitrag