3D structure revealing of thin films by means of focal series

  1. Pustovalov, E.V.
  2. Fedorets, A.N.
  3. Modin, E.B.
  4. Tkachev, V.V.
  5. Plotnikov, V.S.
Revista:
Defect and Diffusion Forum

ISSN: 1662-9507,  1012-0386

ISBN: 9783035714777

Any de publicació: 2018

Volum: 386 DDF

Pàgines: 332-337

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.4028/WWW.SCIENTIFIC.NET/DDF.386.332 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus