Nondestructive femtosecond laser lithography of Ni nanocavities by controlled thermo-mechanical spallation at the nanoscale
- Temnov, V.V.
- Alekhin, A.
- Samokhvalov, A.
- Ivanov, D.S.
- Lomonosov, A.
- Vavassori, P.
- Modin, E.
- Veiko, V.P.
ISSN: 1530-6992, 1530-6984
Any de publicació: 2020
Volum: 20
Número: 11
Pàgines: 7912-7918
Tipus: Article