Amorphous AlN films grown by ALD from trimethylaluminum and monomethylhydrazine

  1. Parkhomenko, R.G.
  2. De Luca, O.
  3. Kołodziejczyk, L.
  4. Modin, E.
  5. Rudolf, P.
  6. Martínez Martínez, D.
  7. Cunha, L.
  8. Knez, M.
Revista:
Dalton Transactions

ISSN: 1477-9234,  1477-9226

Any de publicació: 2021

Volum: 50

Número: 42

Pàgines: 15062-15070

Tipus: Article

DOI: 10.1039/D1DT02529E GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus