The formation of clusters and nanocrystals in Er-implanted hexagonal silicon carbide

  1. Kaiser, U.
  2. Muller, D.A.
  3. Chuvilin, A.
  4. Pasold, G.
  5. Witthuhn, W.
Zeitschrift:
Microscopy and Microanalysis

ISSN: 1431-9276

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 10

Nummer: 2

Seiten: 301-310

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1017/S1431927604040449 GOOGLE SCHOLAR
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