The correlation between mechanical stress, thermal shift and refractive index in HfO2, Nb2O5, Ta2O5 and SiO2 layers and its relation to the layer porosity

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Revue:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Année de publication: 2009

Volumen: 517

Número: 21

Pages: 6058-6068

Type: Article

DOI: 10.1016/J.TSF.2009.05.009 GOOGLE SCHOLAR