The correlation between mechanical stress, thermal shift and refractive index in HfO2, Nb2O5, Ta2O5 and SiO2 layers and its relation to the layer porosity

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Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 517

Nummer: 21

Seiten: 6058-6068

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.TSF.2009.05.009 GOOGLE SCHOLAR