Engineering block copolymer materials for patterning ultra-low dimensions

  1. Cummins, C.
  2. Pino, G.
  3. Mantione, D.
  4. Fleury, G.
Zeitschrift:
Molecular Systems Design and Engineering

ISSN: 2058-9689

Datum der Publikation: 2020

Ausgabe: 5

Nummer: 10

Seiten: 1642-1657

Art: Rezension

DOI: 10.1039/D0ME00118J GOOGLE SCHOLAR

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