Hydrosiloxane modified styrene-diene block copolymer resists
- Gabor, A.H.
- Lehner, E.A.
- Mao, G.
- Ober, C.K.
- Long, T.E.
- Schell, B.A.
- Tiberio, R.C.
ISSN: 1996-756X, 0277-786X
Any de publicació: 1993
Volum: 1925
Pàgines: 499-506
Tipus: Aportació congrés
Actes:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering