Comprehensive approach to MuGFET metrology

  1. Lorusso, G.F.
  2. Leray, P.
  3. Vandeweyer, T.
  4. Ercken, M.
  5. Delvaux, C.
  6. Pollentier, I.
  7. Cheng, S.
  8. Collaert, N.
  9. Rooyackers, R.
  10. Degroote, B.
  11. Jurczak, M.
  12. Biesemans, S.
  13. Richard, O.
  14. Bender, H.
  15. Azordegan, A.
  16. McCormack, J.
  17. Shirke, S.
  18. Prochazka, J.
  19. Long, T.
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819461957

Année de publication: 2006

Volumen: 6152 I

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1117/12.656076 GOOGLE SCHOLAR