Oxygen plasma-assisted ultra-low temperature sol-gel-preparation of the PZT thin films

  1. Li, H.
  2. Hu, Y.
  3. Wei, S.
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  6. Zhang, Q.
  7. Liu, L.
  8. Peng, B.
Zeitschrift:
Ceramics International

ISSN: 0272-8842

Datum der Publikation: 2023

Ausgabe: 49

Nummer: 7

Seiten: 10864-10870

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.CERAMINT.2022.11.279 GOOGLE SCHOLAR

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