Flexible multifunctional hard coatings based on chromium oxynitride for pressure-sensing applications
- Ferreira, A.
- Correa, M.A.
- Lanceros-Mendez, S.
- Vaz, F.
ISSN: 1520-8559, 0734-2101
Año de publicación: 2022
Volumen: 40
Número: 6
Tipo: Artículo
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films