High density, low leakage back-end 3D capacitors for mixed signals applications

  1. Detalle, M.
  2. Barrenetxea, M.
  3. Muller, P.
  4. Potoms, G.
  5. Phommahaxay, A.
  6. Soussan, P.
  7. Vaesen, K.
  8. De Raedt, W.
Aldizkaria:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Argitalpen urtea: 2010

Alea: 87

Zenbakia: 12

Orrialdeak: 2571-2576

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.MEE.2010.07.020 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus