High density, low leakage back-end 3D capacitors for mixed signals applications

  1. Detalle, M.
  2. Barrenetxea, M.
  3. Muller, P.
  4. Potoms, G.
  5. Phommahaxay, A.
  6. Soussan, P.
  7. Vaesen, K.
  8. De Raedt, W.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2010

Volum: 87

Número: 12

Pàgines: 2571-2576

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MEE.2010.07.020 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus