Ultrathin metallic membranes to be used in tunable RFMEMS volume capacitors
- Etxeberria, J.A.
- Sancho, A.
- De La Fuente, P.
- Gracia, F.J.
- Cabezón, X.
Actas:
Proceedings of IEEE Sensors
ISBN: 9780780390560
Ano de publicación: 2005
Volume: 2005
Páxinas: 448-451
Tipo: Achega congreso