Physical and morphological characterization of reactively magnetron sputtered TiN films

  1. Vaz, F.
  2. Machado, P.
  3. Rebouta, L.
  4. Mendes, J.A.
  5. Lanceros-Méndez, S.
  6. Cunha, L.
  7. Nascimento, S.M.C.
  8. Goudeau, Ph.
  9. Rivière, J.P.
  10. Alves, E.
  11. Sidor, A.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 2002

Volum: 420-421

Pàgines: 421-428

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/S0040-6090(02)00812-X GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus