Influence of the sputtering pressure on the morphological features and electrical resistivity anisotropy of nanostructured titanium films

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2017

Volumen: 420

Páginas: 681-690

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2017.05.175 GOOGLE SCHOLAR