Ferroelectric thin and thick films for microsystems

  1. Whatmore, R.W.
  2. Zhang, Q.
  3. Huang, Z.
  4. Dorey, R.A.
Revista:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Año de publicación: 2002

Volumen: 5

Número: 2-3

Páginas: 65-76

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/S1369-8001(02)00085-9 GOOGLE SCHOLAR
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