Soft lithographic patterning of oxide thin films
- Abad, E.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
- Huang, Z.
ISSN: 0277-786X
Ano de publicación: 2003
Volume: 5116 I
Páxinas: 176-184
Tipo: Achega congreso
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering