Soft lithographic patterning of oxide thin films
- Abad, E.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
- Huang, Z.
ISSN: 0277-786X
Année de publication: 2003
Volumen: 5116 I
Pages: 176-184
Type: Communication dans un congrès
Actes de conférence:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering