Soft lithographic patterning of oxide thin films
- Abad, E.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
- Huang, Z.
ISSN: 0277-786X
Datum der Publikation: 2003
Ausgabe: 5116 I
Seiten: 176-184
Art: Konferenz-Beitrag
Konferenzberichte:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering