Nanoindentation of multilayer PZT/Pt/SiO2 thin film systems on silicon wafers for MEMS applications

  1. Chima-Okereke, C.
  2. Reece, M.J.
  3. Bushby, A.J.
  4. Whatmore, R.W.
  5. Zhang, Q.
Actes de conférence:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

Année de publication: 2005

Volumen: 841

Pages: 351-356

Type: Communication dans un congrès

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