Experimental, analytical, and finite element analyses of nanoindentation of multilayer PZT/Pt/SiO2 thin film systems on silicon wafers

  1. Chima-Okereke, C.
  2. Bushby, A.J.
  3. Reece, M.J.
  4. Whatmore, R.W.
  5. Zhang, Q.
Revista:
Journal of Materials Research

ISSN: 0884-2914

Ano de publicación: 2006

Volume: 21

Número: 2

Páxinas: 409-419

Tipo: Artigo

DOI: 10.1557/JMR.2006.0047 GOOGLE SCHOLAR
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