Experimental, analytical, and finite element analyses of nanoindentation of multilayer PZT/Pt/SiO2 thin film systems on silicon wafers

  1. Chima-Okereke, C.
  2. Bushby, A.J.
  3. Reece, M.J.
  4. Whatmore, R.W.
  5. Zhang, Q.
Zeitschrift:
Journal of Materials Research

ISSN: 0884-2914

Datum der Publikation: 2006

Ausgabe: 21

Nummer: 2

Seiten: 409-419

Art: Artikel

DOI: 10.1557/JMR.2006.0047 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus