Stress-induced phase formation of PZT 52/48 thin films
- Zhang, Q.
- Cordova, S.
- Marshall, J.M.
- Shaw, C.P.
- Whatmore, R.W.
ISSN: 1058-4587, 1607-8489
Datum der Publikation: 2007
Ausgabe: 88
Nummer: 1
Seiten: 85-92
Art: Konferenz-Beitrag
Zeitschrift:
Integrated Ferroelectrics