Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Director
Universidade de defensa: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 20 de xullo de 2010
- Concepción Rovira Angulo Presidente/a
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretario/a
- Marta Tello Ruiz Vogal
- Montserrat Calleja Gómez Vogal
- Adriana Gil Gil Vogal
- David Mecerreyes Molero Vogal
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Vogal
Tipo: Tese
Resumo
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación