Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Director
Defence university: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 20 July 2010
- Concepción Rovira Angulo Chair
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretary
- Marta Tello Ruiz Committee member
- Montserrat Calleja Gómez Committee member
- Adriana Gil Gil Committee member
- David Mecerreyes Molero Committee member
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Committee member
Type: Thesis
Abstract
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación