Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Directeur/trice
Université de défendre: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 20 juillet 2010
- Concepción Rovira Angulo President
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secrétaire
- Marta Tello Ruiz Rapporteur
- Montserrat Calleja Gómez Rapporteur
- Adriana Gil Gil Rapporteur
- David Mecerreyes Molero Rapporteur
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Rapporteur
Type: Thèses
Résumé
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación