Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Doktorvater/Doktormutter
Universität der Verteidigung: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 20 von Juli von 2010
- Concepción Rovira Angulo Präsident/in
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Sekretär/in
- Marta Tello Ruiz Vocal
- Montserrat Calleja Gómez Vocal
- Adriana Gil Gil Vocal
- David Mecerreyes Molero Vocal
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Vocal
Art: Dissertation
Zusammenfassung
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación