Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Director/a
Universitat de defensa: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 20 de de juliol de 2010
- Concepción Rovira Angulo President/a
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretari/ària
- Marta Tello Ruiz Vocal
- Montserrat Calleja Gómez Vocal
- Adriana Gil Gil Vocal
- David Mecerreyes Molero Vocal
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Vocal
Tipus: Tesi
Resum
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación