Guided self-assembly of block-copolymer for CMOS technology: A comparative study between grapho-epitaxy and surface chemical modification

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  3. Chevalier, X.
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  7. Gaugiran, S.
  8. Perez-Murano, F.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819485298

Año de publicación: 2011

Volumen: 7970

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.878486 GOOGLE SCHOLAR
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