Embedded purification for electron beam induced Pt deposition using MeCpPtMe3
- Villamor, E.
- Casanova, F.
- Trompenaars, P.H.F.
- Mulders, J.J.L.
ISSN: 1361-6528, 0957-4484
Año de publicación: 2015
Volumen: 26
Número: 9
Tipo: Artículo
ISSN: 1361-6528, 0957-4484
Año de publicación: 2015
Volumen: 26
Número: 9
Tipo: Artículo