Nanoimprint lithography and surface modification as prospective technologies for heterogeneous integration

  1. Kehagias, N.
  2. Hu, W.
  3. Reboud, V.
  4. Lu, N.
  5. Dong, B.
  6. Chi, L.
  7. Fuchs, H.
  8. Genua, A.
  9. Alduncín, J.A.
  10. Pomposo, J.A.
  11. Mecerreyes, D.
  12. Torres, C.M.S.
Revista:
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics

ISSN: 1862-6351

Any de publicació: 2008

Volum: 5

Número: 12

Pàgines: 3571-3575

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1002/PSSC.200780226 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus