Deposition of Ti-Zr-O-N films by reactive magnetron sputtering of Zr target with Ti ribbons

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Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 2021

Volumen: 409

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2020.126737 GOOGLE SCHOLAR