Highly integrated COP monolithic membrane microvalves by robust hot embossing
- Etxebarria, J.
- Berganzo, J.
- Elizalde, J.
- Fernández, L.J.
- Ezkerra, A.
Aldizkaria:
Sensors and Actuators, B: Chemical
ISSN: 0925-4005
Argitalpen urtea: 2014
Alea: 190
Orrialdeak: 451-458
Mota: Artikulua