Highly integrated COP monolithic membrane microvalves by robust hot embossing

  1. Etxebarria, J.
  2. Berganzo, J.
  3. Elizalde, J.
  4. Fernández, L.J.
  5. Ezkerra, A.
Zeitschrift:
Sensors and Actuators, B: Chemical

ISSN: 0925-4005

Datum der Publikation: 2014

Ausgabe: 190

Seiten: 451-458

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SNB.2013.08.103 GOOGLE SCHOLAR
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