Highly integrated COP monolithic membrane microvalves by robust hot embossing

  1. Etxebarria, J.
  2. Berganzo, J.
  3. Elizalde, J.
  4. Fernández, L.J.
  5. Ezkerra, A.
Revista:
Sensors and Actuators, B: Chemical

ISSN: 0925-4005

Any de publicació: 2014

Volum: 190

Pàgines: 451-458

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.SNB.2013.08.103 GOOGLE SCHOLAR