Reduced hydrogen diffusion in strained amorphous SiO2: Understanding ageing in MOSFET devices

  1. Sheikholeslam, S.A.
  2. Manzano, H.
  3. Grecu, C.
  4. Ivanov, A.
Revista:
Journal of Materials Chemistry C

ISSN: 2050-7526 2050-7534

Any de publicació: 2016

Volum: 4

Número: 34

Pàgines: 8104-8110

Tipus: Article

DOI: 10.1039/C6TC02647H GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible