Axis cross-coupling reduction on a high bandwidth XY flexure stage
ISSN: 2211-0992, 2211-0984
ISBN: 9783319158617
Ano de publicación: 2015
Volume: 30
Páxinas: 61-71
Tipo: Achega congreso
ISSN: 2211-0992, 2211-0984
ISBN: 9783319158617
Ano de publicación: 2015
Volume: 30
Páxinas: 61-71
Tipo: Achega congreso