Axis cross-coupling reduction on a high bandwidth XY flexure stage
ISSN: 2211-0992, 2211-0984
ISBN: 9783319158617
Argitalpen urtea: 2015
Alea: 30
Orrialdeak: 61-71
Mota: Biltzar ekarpena
ISSN: 2211-0992, 2211-0984
ISBN: 9783319158617
Argitalpen urtea: 2015
Alea: 30
Orrialdeak: 61-71
Mota: Biltzar ekarpena