Axis cross-coupling reduction on a high bandwidth XY flexure stage

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Collection de livres:
Mechanisms and Machine Science

ISSN: 2211-0992,  2211-0984

ISBN: 9783319158617

Année de publication: 2015

Volumen: 30

Pages: 61-71

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1007/978-3-319-15862-4_6 GOOGLE SCHOLAR
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