Highly uniform silicon nanopatterning with deep-ultraviolet femtosecond pulses
- Granados, E.
- Martinez-Calderon, M.
- Groussin, B.
- Colombier, J.P.
- Santiago, I.
Revista:
Nanophotonics
ISSN: 2192-8614
Ano de publicación: 2024
Tipo: Artigo