Characterization of nanoporous low dielectric constant thin films.
- Huang, QR
- Frank, CW
- Mecerreyes, D
- Miller, RD
Zeitschrift:
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
ISSN: 0065-7727
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 221
Art: Konferenz-Beitrag