Porous silicon for the development of capacitive microstructures

  1. Sancho, A.
  2. Arizti, F.
  3. Gracia, F.J.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Any de publicació: 2009

Volum: 86

Número: 11

Pàgines: 2144-2148

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.MEE.2009.02.031 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus