Influence of the sputtering pressure on the morphological features and electrical resistivity anisotropy of nanostructured titanium films
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- Cote, J.-M.
- Martin, N.
- Yazdi, M.A.P.
- Billard, A.
- Lanceros-Mendez, S.
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Zeitschrift:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Datum der Publikation: 2017
Ausgabe: 420
Seiten: 681-690
Art: Artikel