Ferroelectric thin and thick films for microsystems

  1. Whatmore, R.W.
  2. Zhang, Q.
  3. Huang, Z.
  4. Dorey, R.A.
Zeitschrift:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 5

Nummer: 2-3

Seiten: 65-76

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S1369-8001(02)00085-9 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus