Ferroelectric thin and thick films for microsystems

  1. Whatmore, R.W.
  2. Zhang, Q.
  3. Huang, Z.
  4. Dorey, R.A.
Revista:
Materials Science in Semiconductor Processing

ISSN: 1369-8001

Any de publicació: 2002

Volum: 5

Número: 2-3

Pàgines: 65-76

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/S1369-8001(02)00085-9 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus