Development of residual stress in sol-gel derived Pb (Zr,Ti) O3 films: An experimental study
- Corkovic, S.
- Whatmore, R.W.
- Zhang, Q.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 2008
Ausgabe: 103
Nummer: 8
Art: Artikel