New approach for batch microfabrication of silicon-based micro fuel cells

  1. Sabaté, N.
  2. Esquivel, J.P.
  3. Santander, J.
  4. Hauer, J.G.
  5. Verjulio, R.W.
  6. Gràcia, I.
  7. Salleras, M.
  8. Calaza, C.
  9. Figueras, E.
  10. Cané, C.
  11. Fonseca, L.
Revue:
Microsystem Technologies

ISSN: 0946-7076

Année de publication: 2014

Volumen: 20

Número: 2

Pages: 341-348

Type: Article

DOI: 10.1007/S00542-013-1781-4 GOOGLE SCHOLAR

Objectifs de Développement Durable