A MEMS capacitor with improved RF power handling capability
- Girbau, D.
- Otegi, N.
- Pradell, L.
- Lázaro, A.
Actes:
GAAS 2005 Conference Proceedings - 13th European Gallium Arsenide and Other Compound Semiconductors Application Symposium
ISBN: 9788890201202
Any de publicació: 2005
Volum: 2005
Pàgines: 501-504
Tipus: Aportació congrés